半導体製造現場におけるウルトラクリーン化への取り組み : Proceeding(超LSIウルトラクリーンテクノロジーワークショップ ; 第16回)

Call No. (NDL): ND371-E152
Bibliographic ID of National Diet Library: 000002457051
Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/13649475

Material type: 図書

Author: UCS半導体基盤技術研究会編

Publisher: UCS半導体基盤技術研究会

Publication date: 1991.12

Material Format: Paper・Digital

Capacity, size, etc.: 58p ; 30cm

NDC: 549.8

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Note (General)：: 英語書名: Trends of implementation of ultra clean technology to practical semiconductor manufacturing site 英文併載期日・会場: 1991年12月20日農協ホール

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Paper Digital

Material Type: 図書
Title: 半導体製造現場におけるウルトラクリーン化への取り組み : Proceeding
Title Transcription: ハンドウタイセイゾウゲンバニオケルウルトラクリーンカエノトリクミ
Author/Editor: UCS半導体基盤技術研究会編
Series Title: 超LSIウルトラクリーンテクノロジーワークショップ ; 第16回
Author Heading: 半導体基盤技術研究会ハンドウタイキバンギジュツケンキュウカイ ( 00264648 )Authorities
Publication, Distribution, etc.: 東京 : UCS半導体基盤技術研究会
Publication Date: 1991.12
Publication Date (W3CDTF): 1991
Extent: 58p
Size: 30cm
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
Subject Heading: 半導体--会議録ハンドウタイカイギロク ( 00611070 )Authorities
NDC 8th ed.: 549.8
NDLC: ND371
Target Audience: 一般
Note (General): 英語書名: Trends of implementation of ultra clean technology to practical semiconductor manufacturing site 英文併載
期日・会場: 1991年12月20日農協ホール
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: ND371-E152
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000002457051
http://id.ndl.go.jp/bib/000002457051
National Bibliography No. (JPNO): 96019419
Cataloging Rule: Nippon Cataloging Rules, Preliminary New Edition
Bibliographic Record Category (NDL): 111