Advanced wet chemical processing : Proceedings 5 (超LSIウルトラクリーンテクノロジーワークショップ ; 第27回)

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Advanced wet chemical processing : Proceedings. 5(超LSIウルトラクリーンテクノロジーワークショップ ; 第27回)

Call No. (NDL): ND371-E149
Bibliographic ID of National Diet Library: 000002457052
Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/13649473

Material type: 図書

Author: UCS半導体基盤技術研究会編

Publisher: UCS半導体基盤技術研究会

Publication date: 1995.6

Material Format: Paper・Digital

Capacity, size, etc.: 103p ; 30cm

NDC: 549.8

Notes on use

Note (General)：: 日英両文併記期日・会場: 1995年6月23日機械振興会館

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Bibliographic Record

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Paper Digital

Material Type: 図書
Title: Advanced wet chemical processing : Proceedings
Volume: 5
Author/Editor: UCS半導体基盤技術研究会編
Series Title: 超LSIウルトラクリーンテクノロジーワークショップ ; 第27回
Author Heading: 半導体基盤技術研究会ハンドウタイキバンギジュツケンキュウカイ ( 00264648 )Authorities
Publication, Distribution, etc.: 東京 : UCS半導体基盤技術研究会
Publication Date: 1995.6
Publication Date (W3CDTF): 1995
Extent: 103p
Size: 30cm
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
Subject Heading: 半導体--会議録ハンドウタイカイギロク ( 00611070 )Authorities
NDC 8th ed.: 549.8
NDLC: ND371
Target Audience: 一般
Note (General): 日英両文併記
期日・会場: 1995年6月23日機械振興会館
Note (Bibliography): 付: 参考文献
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: ND371-E149
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000002457052
http://id.ndl.go.jp/bib/000002457052
National Bibliography No. (JPNO): 96019420
Cataloging Rule: Nippon Cataloging Rules, Preliminary New Edition
Bibliographic Record Category (NDL): 111