超々純水製造技術と評価技術 : Proceeding (超LSIウルトラクリーンテクノロジーワークショップ ; no.4)

超々純水製造技術と評価技術 : Proceeding

(超LSIウルトラクリーンテクノロジーワークショップ ; no.4)

Call No. (NDL): ND371-G8
Bibliographic ID of National Diet Library: 000002467107

Material type: 図書

Author: 半導体基盤技術研究会編

Publisher: 半導体基盤技術研究会

Publication date: 1990.5

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 105p ; 30cm

NDC: 549.8

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Note (General)：: 奥付の書名 (誤植) : 超々純水製造技術と評価方法期日・会場: 1990年5月11日東京日仏会館ホール

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Paper

Material Type: 図書
Title: 超々純水製造技術と評価技術 : Proceeding
Title Transcription: チョウチョウジュンスイセイゾウギジュツトヒョウカギジュツ
Author/Editor: 半導体基盤技術研究会編
Series Title: 超LSIウルトラクリーンテクノロジーワークショップ ; no.4
Author Heading: 半導体基盤技術研究会ハンドウタイキバンギジュツケンキュウカイ ( 00264648 )Authorities
Publication, Distribution, etc.: 東京 : 半導体基盤技術研究会
Publication Date: 1990.5
Publication Date (W3CDTF): 1990
Extent: 105p
Size: 30cm
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
Subject Heading: 半導体--会議録ハンドウタイカイギロク ( 00611070 )Authorities
洗浄剤--会議録センジョウザイカイギロク ( 00601215 )Authorities
水処理--会議録ミズショリカイギロク ( 00599084 )Authorities
NDC 8th ed.: 549.8
NDLC: ND371
Target Audience: 一般
Note (General): 奥付の書名 (誤植) : 超々純水製造技術と評価方法
期日・会場: 1990年5月11日東京日仏会館ホール
Note (Bibliography): 付: 参考文献
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: ND371-G8
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000002467107
http://id.ndl.go.jp/bib/000002467107
National Bibliography No. (JPNO): 96029475
Cataloging Rule: Nippon Cataloging Rules, Preliminary New Edition
Bibliographic Record Category (NDL): 111