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図書

半導体プロセスハンドブック

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半導体プロセスハンドブック

Call No. (NDL)
ND371-G48
Bibliographic ID of National Diet Library
000002548144
Material type
図書
Author
月刊Semiconductor World編集部 編
Publisher
プレスジャーナル
Publication date
1996.10
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
572p ; 29cm
NDC
549.8
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Notes on use

Note (General):

総合監修: 垂井康夫

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Table of Contents

Provided by:国立国会図書館Link to Help Page
  • 序章 果てしなき微細加工技術への挑戦/ 29

  • 光リソグラフィの展望

    垂井康夫 早稲田大学

  • X線リソグラフィ

  • 電子ビーム露光技術

  • 第1編 メガからギガビツト時代へ

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    Call No.:
    549.8/HA
    Book Registration Number:
    1105656951

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Paper

Material Type
図書
ISBN
4-938349-84-1
Title Transcription
ハンドウタイ プロセス ハンドブック
Author/Editor
月刊Semiconductor World編集部 編
Author Heading
月刊Semiconductor World編集部 ゲッカン Semiconductor World ヘンシュウブ ( 00528667 )Authorities
Publication, Distribution, etc.
Publication Date
1996.10
Publication Date (W3CDTF)
1996
Extent
572p