表面反応を用いる薄膜・プロセス技術の基礎

• Material Type: 図書
• Title: 表面反応を用いる薄膜・プロセス技術の基礎
• Title Transcription: ヒョウメン ハンノウ オ モチイル ハクマク プロセス ギジュツ ノ キソ
• Author/Editor: 応用物理学会薄膜・表面物理分科会 編
• Series Title: 薄膜・表面物理基礎講座 ; 第24回; AP ; 952328
• Author Heading: 応用物理学会 オウヨウ ブツリ ガッカイ ( 00281497 )Authorities
• Publication, Distribution, etc.: 東京 : 応用物理学会薄膜・表面物理分科会
• Publication Date: 1995.11
• Publication Date (W3CDTF): 1995
• Extent: 131p
• Size: 26cm
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: jpn
• Subject Heading: 薄膜--会議録 ハクマク カイギロク ( 00610990 )Authorities
• NDC 9th ed.: 549.8 : Electronic engineering
• NDLC: ND371
• Target Audience: 一般
• Note (General): 会期・会場: 1995年11月7日-9日 早稲田大学理工学部
• Note (Bibliography): 文献あり
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: ND371-G59
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000002595853; http://id.ndl.go.jp/bib/000002595853
• National Bibliography No. (JPNO): 98006705
• Cataloging Rule: Nippon Cataloguing Rules 1987 Revised Edition
• Bibliographic Record Category (NDL): 111

Table of Contents

１１月７日（火）

１３：００ー１３：３０　Ｉｎｔｒｏｄｕｃｔｏｒｙ　ｔａｌｋ 　なぜ表面反応か/ １

１３：３０ー１５：１５　表面反応・薄膜成長の観察/ ５

１５：３０ー１７：１５　中性ビーム技術/ １７

１１月８日（水）