博士論文

プリアモルファスシリコン層へのイオン注入による浅い接合形成に関する研究

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プリアモルファスシリコン層へのイオン注入による浅い接合形成に関する研究

Call No. (NDL)
UT51-2003-D364
Bibliographic ID of National Diet Library
000004109021
Material type
博士論文
Author
大野直次 [著]
Publisher
[大野直次]
Publication date
2002
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
1冊
Name of awarding university/degree
法政大学,博士 (工学)
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博士論文

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Paper

Material Type
博士論文
Title Transcription
プリ アモルファス シリコンソウ エノ イオン チュウニュウ ニ ヨル アサイ セツゴウ ケイセイ ニ カンスル ケンキュウ
Author/Editor
大野直次 [著]
Author Heading
大野, 直次 オオノ, ナオツグ
Publication, Distribution, etc.
Publication Date
2002
Publication Date (W3CDTF)
2002
Extent
1冊
Degree grantor/type
法政大学