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博士論文

Study on dielectric breakdown mechanisms of gate oxides in silicon MOSFETs

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Study on dielectric breakdown mechanisms of gate oxides in silicon MOSFETs

Call No. (NDL)
UT51-2003-E716
Bibliographic ID of National Diet Library
000004137874
Material type
博士論文
Author
岡田健治 [著]
Publisher
[岡田健治]
Publication date
2002
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
1冊
Name of awarding university/degree
大阪大学,博士 (工学)
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博士論文

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
博士論文
Author/Editor
岡田健治 [著]
Author Heading
岡田, 健治 オカダ, ケンジ
Publication, Distribution, etc.
Publication Date
2002
Publication Date (W3CDTF)
2002
Extent
1冊
Alternative Title
シリコンMOSFETにおけるゲート酸化膜の絶縁破壊機構に関する研究 シリコン MOSFET ニ オケル ゲート サンカマク ノ ゼツエン ハカイ キコウ ニ カンスル ケンキュウ
Degree grantor/type
大阪大学