原子オーダー制御プロセス : 加工と評価

• Material Type: 図書
• Title: 原子オーダー制御プロセス : 加工と評価
• Title Transcription: ゲンシ オーダー セイギョ プロセス : カコウ ト ヒョウカ
• Series Title: 応用物理学会スクール : テキスト ; 第6回
• Author Heading: 応用物理学会 オウヨウ ブツリ ガッカイ ( 00281497 )Authorities
• Publication, Distribution, etc.: 東京 : 応用物理学会
• Publication Date: 1990.3
• Publication Date (W3CDTF): 1990
• Extent: 72p
• Size: 26cm
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: jpn
• Subject Heading: 薄膜--論文集 ハクマク ロンブンシュウ ( 00810447 )Authorities
• NDC 9th ed.: 549.8 : Electronic engineering
• NDLC: ND371
• Target Audience: 一般
• Note (General): 会期・会場: 1990年3月27日 東洋大学朝霞校舎; JSAP catalog no.AP901311
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: ND371-H51
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000004347137; http://id.ndl.go.jp/bib/000004347137
• National Bibliography No. (JPNO): 20577348
• Cataloging Rule: Nippon Cataloguing Rules 1987 Revised Edition
• Bibliographic Record Category (NDL): 111

Table of Contents

プログラム（目次）

「原子オーダー制御プロセス」-加工と評価-

13:00 メゾスコピックデバイス物理の現状/ 1

14:20 原子層オーダーの薄膜形成と結晶成長/ 17

15:20 原子オーダーのエッチング加工/ 33