Search by Bookstore
Table of Contents
プログラム(目次)
「原子オーダー制御プロセス」-加工と評価-
13:00 メゾスコピックデバイス物理の現状/ 1
14:20 原子層オーダーの薄膜形成と結晶成長/ 17
15:20 原子オーダーのエッチング加工/ 33
Search by Bookstore
Bibliographic Record
You can check the details of this material, its authority (keywords that refer to materials on the same subject, author's name, etc.), etc.
- Material Type
- 図書
- Title
- Title Transcription
- ゲンシ オーダー セイギョ プロセス : カコウ ト ヒョウカ
- Series Title
- Author Heading
- 応用物理学会 オウヨウ ブツリ ガッカイ ( 00281497 )Authorities
- Publication, Distribution, etc.
- Publication Date
- 1990.3
- Publication Date (W3CDTF)
- 1990
- Extent
- 72p
- Size
- 26cm