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図書

マイクロマシニングによる超小型真空ポンプの開発

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マイクロマシニングによる超小型真空ポンプの開発

Call No. (NDL)
Y151-H03650220
Bibliographic ID of National Diet Library
000006983660
Material type
図書
Author
稲葉, 成基, 岐阜工業高等専門学校
Publisher
-
Publication date
1991-1993
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
マイクロマシニング ニ ヨル チョウコガタ シンクウ ポンプ ノ カイハツ
Author/Editor
稲葉, 成基, 岐阜工業高等専門学校
Author Heading
稲葉, 成基 イナバ, セイキ
Publication Date
1991-1993
Publication Date (W3CDTF)
1991
Extent
Additional Title
研究種目 一般研究(C)
Subject Heading
マイクロマシニング マイクロマシニング
超小型真空ポンプ チヨウコガタシンクウポンプ
光学式アクチユエータ コウガクシキアクチユエータ
形状記憶合金 ケイジヨウキオクゴウキン
レーザダイオード レーザダイオード
光熱効果 コウネツコウカ
超小型片持ばり チヨウコガタカタモチバリ
水流ポンプ スイリユウポンプ