マイクロマシニングによる超小型真空ポンプの開発

• Material Type: 図書
• Title: マイクロマシニングによる超小型真空ポンプの開発
• Title Transcription: マイクロマシニング ニ ヨル チョウコガタ シンクウ ポンプ ノ カイハツ
• Author/Editor: 稲葉, 成基, 岐阜工業高等専門学校
• Author Heading: 稲葉, 成基 イナバ, セイキ
• Publication Date: 1991-1993
• Publication Date (W3CDTF): 1991
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 一般研究(C)
• Subject Heading: マイクロマシニング マイクロマシニング; 超小型真空ポンプ チヨウコガタシンクウポンプ; 光学式アクチユエータ コウガクシキアクチユエータ; 形状記憶合金 ケイジヨウキオクゴウキン; レーザダイオード レーザダイオード; 光熱効果 コウネツコウカ; 超小型片持ばり チヨウコガタカタモチバリ; 水流ポンプ スイリユウポンプ
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 03650220
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H03650220
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000006983660; http://id.ndl.go.jp/bib/000006983660
• Bibliographic Record Category (NDL): 214