TICSを用いた水素フリーSiO2膜形成法

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Material Type: 図書
Title: TICSを用いた水素フリーSiO2膜形成法
Title Transcription: TICS オモチイタスイソフリー SiO2 マクケイセイホウ
Author/Editor: 杉浦, 修, 東京工業大学
Author Heading: 杉浦, 修スギウラ, オサム
Publication Date: 1994-1995
Publication Date (W3CDTF): 1994
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目試験研究(B)
Subject Heading: プラズマCVD プラズマCVD
SiO2 SIO2
テトライソシアネートシランテトライソシアネートシラン
TICS TICS
PECVD PECVD
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 06555091
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H06555091
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000006997351
http://id.ndl.go.jp/bib/000006997351
Bibliographic Record Category (NDL): 214