MOCVD法による強誘電体薄膜の高速大面積成長とメモリデバイスへの実用化研究

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Material Type: 図書
Title: MOCVD法による強誘電体薄膜の高速大面積成長とメモリデバイスへの実用化研究
Title Transcription: MOCVD ホウニヨルキョウユウデンタイハクマクノコウソクダイメンセキセイチョウトメモリデバイスヘノジツヨウカケンキュウ
Author/Editor: 塩崎, 忠, 京都大学
Author Heading: 塩崎, 忠, 1944- シオサキ, タダシ, 1944- ( 00145880 )Authorities
Publication Date: 1994-1995
Publication Date (W3CDTF): 1994
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目試験研究(B)
Subject Heading: MOCVD法 MOCVDホウ
PZT PZT
PLZT PLZT
大面積成長ダイメンセキセイチヨウ
薄膜ハクマク
均一性キンイツセイ
メモリデバイスメモリデバイス
疲労ヒロウ
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 06555094
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H06555094
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000006997354
http://id.ndl.go.jp/bib/000006997354
Bibliographic Record Category (NDL): 214