MOCVD法による強誘電体薄膜の高速大面積成長とメモリデバイスへの実用化研究

• Material Type: 図書
• Title: MOCVD法による強誘電体薄膜の高速大面積成長とメモリデバイスへの実用化研究
• Title Transcription: MOCVD ホウ ニ ヨル キョウ ユウデンタイ ハクマク ノ コウソク ダイ メンセキ セイチョウ ト メモリデバイス ヘ ノ ジツヨウカ ケンキュウ
• Author/Editor: 塩崎, 忠, 京都大学
• Author Heading: 塩崎, 忠, 1944- シオサキ, タダシ, 1944- ( 00145880 )Authorities
• Publication Date: 1994-1995
• Publication Date (W3CDTF): 1994
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 試験研究(B)
• Subject Heading: MOCVD法 MOCVDホウ; PZT PZT; PLZT PLZT; 大面積成長 ダイメンセキセイチヨウ; 薄膜 ハクマク; 均一性 キンイツセイ; メモリデバイス メモリデバイス; 疲労 ヒロウ
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 06555094
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H06555094
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000006997354; http://id.ndl.go.jp/bib/000006997354
• Bibliographic Record Category (NDL): 214