配向性制御による高電気伝導度ITO薄膜の開発

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Material Type: 図書
Title: 配向性制御による高電気伝導度ITO薄膜の開発
Title Transcription: ハイコウセイセイギョニヨルコウデンキデンドウド ITO ハクマクノカイハツ
Author/Editor: 安井, 至, 東京大学
Author Heading: 安井, 至ヤスイ, イタル
Publication Date: 1994-1995
Publication Date (W3CDTF): 1994
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目試験研究(B)
Subject Heading: ITO ITO
配向性ハイコウセイ
ヘテロエピタキシヤル成長ヘテロエピタキシヤルセイチヨウ
スパツタリングスパツタリング
薄膜ハクマク
電気伝導デンキデンドウ
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 06555181
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H06555181
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000006997435
http://id.ndl.go.jp/bib/000006997435
Bibliographic Record Category (NDL): 214