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SOIのRTOならびに低温熱酸化における界面電荷の制御

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SOIのRTOならびに低温熱酸化における界面電荷の制御

Call No. (NDL)
Y151-H07455025
Bibliographic ID of National Diet Library
000007003010
Material type
図書
Author
梅野, 正隆, 大阪大学
Publisher
-
Publication date
1995-1996
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
SOI ノ RTO ナラビニ テイオン ネツ サンカ ニ オケル カイメン デンカ ノ セイギョ
Author/Editor
梅野, 正隆, 大阪大学
Author Heading
梅野, 正隆 ウメノ, マサタカ
Publication Date
1995-1996
Publication Date (W3CDTF)
1995
Extent
Additional Title
研究種目 一般研究(B)
Subject Heading
シリコン シリコン
熱酸化 ネツサンカ
酸化膜 サンカマク
NF3 NF3
RTO RTO
SOI SOI