シリコンウエハ加工表面欠陥のナノインプロセス計測に関する研究

• Material Type: 図書
• Title: シリコンウエハ加工表面欠陥のナノインプロセス計測に関する研究
• Title Transcription: シリコンウエハ カコウ ヒョウメン ケッカン ノ ナノインプロセス ケイソク ニ カンスル ケンキュウ
• Author/Editor: 三好, 隆志, 大阪大学
• Author Heading: 三好, 隆志 ミヨシ, タカシ
• Publication Date: 1995-1996
• Publication Date (W3CDTF): 1995
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(B)
• Subject Heading: シリコンウエハ シリコンウエハ; 表面欠陥検査 ヒヨウメンケツカンケンサ; 光応用計測 ヒカリオウヨウケイソク; 微小付着異物 ビシヨウフチヤクイブツ; インプロセス計測 インプロセスケイソク; ナノテクノロジー ナノテクノロジー; 光誘起屈折率効果結晶 ヒカリユウキクツセツリツコウカケツシヨウ; BSO結晶 BSOケツシヨウ
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 07455064
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H07455064
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007003043; http://id.ndl.go.jp/bib/000007003043
• Bibliographic Record Category (NDL): 214