イオンクラスターの電界制御によるTEOS/O3常圧CVD薄膜の選択形成

• Material Type: 図書
• Title: イオンクラスターの電界制御によるTEOS/O3常圧CVD薄膜の選択形成
• Title Transcription: イオンクラスター ノ デンカイ セイギョ ニ ヨル TEOS/O3 ジョウアツ CVD ハクマク ノ センタク ケイセイ
• Author/Editor: 足立, 元明, 大阪府立大学
• Author Heading: 足立, 元明 アダチ, モトアキ
• Publication Date: 1995-1996
• Publication Date (W3CDTF): 1995
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 一般研究(C)
• Subject Heading: CVD CVD; 薄膜 ハクマク; イオンクラスター イオンクラスター; イオン核生成 イオンカクセイセイ; 気相核生成 キソウカクセイセイ; TEOS TEOS; 選択成長 センタクセイチヨウ; ナノメータ粒子 ナノメータリユウシ
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 07650927
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H07650927
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007007408; http://id.ndl.go.jp/bib/000007007408
• Bibliographic Record Category (NDL): 214