3次元ナノメートル分析技術の開発

• Material Type: 図書
• Title: 3次元ナノメートル分析技術の開発
• Title Transcription: 3 ジゲン ナノメートル ブンセキ ギジュツ ノ カイハツ
• Author/Editor: 高井, 幹夫, 大阪大学
• Author Heading: 高井, 幹夫 タカイ, ミキオ
• Publication Date: 1996-1998
• Publication Date (W3CDTF): 1996
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 国際学術研究
• Subject Heading: イオンマイクロプローブ イオンマイクロプローブ; 集束イオンビーム シユウソクイオンビーム; TOF-SIMS TOF-SIMS; ナノフアブリケーシヨン ナノフアブリケーシヨン; ナノメートル3次元分析 ナノメートル3ジゲンブンセキ; 電界放射電子源 デンカイホウシヤデンシゲン; プロセス誘起欠陥 プロセスユウキケツカン; ナノ構造 ナノコウゾウ
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 08044148
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H08044148
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007010674; http://id.ndl.go.jp/bib/000007010674
• Bibliographic Record Category (NDL): 214