ラングミュア吸着・反応制御プロセスを駆使して製作する4族半導体極微細デバイス

Call No. (NDL): Y151-H08405022
Bibliographic ID of National Diet Library: 000007011188

Material type: 図書

Author: 室田淳一, 東北大学

Publisher: -

Publication date: 1996-1998

Material Format: Paper

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Note (General)：: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Paper

Material Type: 図書
Title: ラングミュア吸着・反応制御プロセスを駆使して製作する4族半導体極微細デバイス
Title Transcription: ラングミュアキュウチャク・ハンノウセイギョプロセスオクシシテセイサクスル 4 ゾクハンドウタイキョクビサイデバイス
Author/Editor: 室田淳一, 東北大学
Author Heading: 室田, 淳一ムロタ, ジュンイチ
Publication Date: 1996-1998
Publication Date (W3CDTF): 1996
1998
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(A)
Subject Heading: ラングミユア吸着・反応ラングミユアキユウチヤク・ハンノウ
IV族半導体 IVゾクハンドウタイ
極微細デバイスキヨクビサイデバイス
原子層成長ゲンシソウセイチヨウ
表面処理ヒヨウメンシヨリ
原子層エツチングゲンシソウエツチング
水素終端スイソシユウタン
低温ヘテロエピタキシヤル成長テイオンヘテロエピタキシヤルセイチヨウ
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 08405022
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H08405022
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007011188
http://id.ndl.go.jp/bib/000007011188
Bibliographic Record Category (NDL): 214