結晶核制御技術による高品質多結晶SiGeの低温成長

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Material Type: 図書
Title: 結晶核制御技術による高品質多結晶SiGeの低温成長
Title Transcription: ケッショウカクセイギョギジュツニヨルコウヒンシツタケッショウ SiGe ノテイオンセイチョウ
Author/Editor: 半那, 純一, 東京工業大学
Author Heading: 半那, 純一ハンナ, ジュンイチ
Publication Date: 1996-1997
Publication Date (W3CDTF): 1996
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(B)
Subject Heading: 熱CVD ネツCVD
フツ化ゲルマニウムフツカゲルマニウム
ジシランジシラン
多結晶SiGe タケツシヨウSIGE
選択成長センタクセイチヨウ
結晶核ケツシヨウカク
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 08455010
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H08455010
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007011695
http://id.ndl.go.jp/bib/000007011695
Bibliographic Record Category (NDL): 214