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- Material Type
- 図書
- Title Transcription
- デンシ エネルギー ソンシツ ブンコウホウ オ モチイタ ゲンシソウ CVD ニ オケル ハンノウ メカニズム ノ ケンキュウ
- Author/Editor
- 安田, 幸夫, 名古屋大学
- Author Heading
- 安田, 幸夫 ヤスダ, ユキオ
- Publication Date
- 1996-1998
- Publication Date (W3CDTF)
- 1996
- Extent
- 冊
- Additional Title
- 研究種目 基盤研究(B)
- Subject Heading
- 高分解能電子エネルギー損失分光法 コウブンカイノウデンシエネルギーソンシツブンコウホウ化学気相成長 カガクキソウセイチヨウ表面吸着水素 ヒヨウメンキユウチヤクスイソ表面反応メカニズム ヒヨウメンハンノウメカニズムガスソース分子線エピタキシー ガスソースブンシセンエピタキシーSi1-xGexエピタキシヤル成長 SI1-XGEXエピタキシヤルセイチヨウ反射高速電子線回折 ハンシヤコウソクデンシセンカイセツ表面偏析 ヒヨウメンヘンセキ