高感度光電子収率分光による極めて薄い酸化膜/シリコン界面の欠陥密度定量評価

Call No. (NDL): Y151-H08455147
Bibliographic ID of National Diet Library: 000007011825

Material type: 図書

Author: 宮崎, 誠一, 広島大学

Publisher: -

Publication date: 1996-1997

Material Format: Paper

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Note (General)：: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Paper

Material Type: 図書
Title: 高感度光電子収率分光による極めて薄い酸化膜/シリコン界面の欠陥密度定量評価
Title Transcription: コウカンドコウデンシシュウリツブンコウニヨルキワメテウスイサンカマク/シリコンカイメンノケッカンミツドテイリョウヒョウカ
Author/Editor: 宮崎, 誠一, 広島大学
Author Heading: 宮崎, 誠一ミヤザキ, セイイチ
Publication Date: 1996-1997
Publication Date (W3CDTF): 1996
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(B)
Subject Heading: 極薄SiO2/Si界面ゴクウスSIO2/SIカイメン
光電子収率分光法コウデンシシユウリツブンコウホウ
フエルミ準位フエルミジユンイ
表面準位密度ヒヨウメンジユンイミツド
価電子帯状態密度カデンシタイジヨウタイミツド
光電子脱出深さコウデンシダツシユツフカサ
界面準位密度カイメンジユンイミツド
水素終端Si処理スイソシユウタンSIシヨリ
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 08455147
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H08455147
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007011825
http://id.ndl.go.jp/bib/000007011825
Bibliographic Record Category (NDL): 214