スパツタ膜作製における低エネルギーイオン照射による膜特性の制御に関する研究

• Material Type: 図書
• Title: スパツタ膜作製における低エネルギーイオン照射による膜特性の制御に関する研究
• Title Transcription: スパツタマク サクセイ ニ オケル テイエネルギーイオン ショウシャ ニ ヨル マク トクセイ ノ セイギョ ニ カンスル ケンキュウ
• Author/Editor: 富永, 喜久雄, 徳島大学
• Author Heading: 富永, 喜久雄 トミナガ, キクオ
• Publication Date: 1996-1997
• Publication Date (W3CDTF): 1996
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(C)
• Subject Heading: スパツタリング スパツタリング; 窒化物薄膜 チツカブツハクマク; 酸化物薄膜 サンカブツハクマク; AlN ALN; ZnO ZNO; ITO ITO; 透明導電膜 トウメイドウデンマク
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 08650383
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H08650383
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007014838; http://id.ndl.go.jp/bib/000007014838
• Bibliographic Record Category (NDL): 214