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- Material Type
- 図書
- Title Transcription
- コソウ カクサン ニ ヨル シリコンウエハ ナイ ヘ ノ アサイ pn セツゴウ ノ テイオン ニ オケル ケイセイ ホウホウ ノ カクリツ
- Author/Editor
- 石川, 豊, 日本工業大学
- Author Heading
- 石川, 豊 イシカワ, ユタカ
- Publication Date
- 1996-1998
- Publication Date (W3CDTF)
- 1996
- Extent
- 冊
- Additional Title
- 研究種目 基盤研究(C)