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昇華近接法による高品質SiCの高速エピタキシヤル成長

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昇華近接法による高品質SiCの高速エピタキシヤル成長

Call No. (NDL)
Y151-H09450011
Bibliographic ID of National Diet Library
000007018260
Material type
図書
Author
西野, 茂弘, 京都工芸繊維大学
Publisher
-
Publication date
1997-1998
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
ショウカ キンセツホウ ニ ヨル コウヒンシツ SiC ノ コウソク エピタキシヤル セイチョウ
Author/Editor
西野, 茂弘, 京都工芸繊維大学
Author Heading
西野, 茂弘 ニシノ, シゲヒロ
Publication Date
1997-1998
Publication Date (W3CDTF)
1997
Extent
Additional Title
研究種目 基盤研究(B)
Subject Heading
シリコンカーバイド シリコンカーバイド
SiC SIC
昇華法 シヨウカホウ
エピタキシヤル成長 エピタキシヤルセイチヨウ
近接法 キンセツホウ
昇華エピアキシヤル成長 シヨウカエピアキシヤルセイチヨウ
SiC薄膜 SICハクマク
SiCデバイス SICデバイス