MOCVD法による強誘電体薄膜の高速大面積成長とメモリ等のデバイスへの実用化研究

Call No. (NDL): Y151-H09555099
Bibliographic ID of National Diet Library: 000007018865

Material type: 図書

Author: 塩嵜, 忠, 京都大学

Publisher: -

Publication date: 1997-2000

Material Format: Paper

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Note (General)：: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Paper

Material Type: 図書
Title: MOCVD法による強誘電体薄膜の高速大面積成長とメモリ等のデバイスへの実用化研究
Title Transcription: MOCVD ホウニヨルキョウユウデンタイハクマクノコウソクダイメンセキセイチョウトメモリトウノデバイスヘノジツヨウカケンキュウ
Author/Editor: 塩嵜, 忠, 京都大学
Author Heading: 著者：塩崎, 忠, 1944- シオサキ, タダシ, 1944- ( 00145880 )Authorities
Publication Date: 1997-2000
Publication Date (W3CDTF): 1997
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(B)
Subject Heading: 強誘電体不揮発性RAM キヨウユウデンタイフキハツセイRAM
Pb (Zr, Ti) O3 PB (ZR, TI) O3
高集積化、大面積成長コウシユウセキカ、ダイメンセキセイチヨウ
分極反転疲労特性ブンキヨクハンテンヒロウトクセイ
リーク電流特性リークデンリユウトクセイ
熱刺激電流法ネツシゲキデンリユウホウ
ドメインピニングモデルドメインピニングモデル
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 09555099
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H09555099
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007018865
http://id.ndl.go.jp/bib/000007018865
Bibliographic Record Category (NDL): 214