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薄膜パターン・マスクを用いない新しいX線縮小転写露光装置の試作

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薄膜パターン・マスクを用いない新しいX線縮小転写露光装置の試作

Call No. (NDL)
Y151-S60850069
Bibliographic ID of National Diet Library
000007025933
Material type
図書
Author
松村, 英樹, 広島大学
Publisher
-
Publication date
1985-1986
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
ハクマク パターン ・ マスク オ モチイナイ アタラシイ Xセン シュクショウ テンシャ ロコウ ソウチ ノ シサク
Author/Editor
松村, 英樹, 広島大学
Author Heading
松村, 英樹 マツムラ, ヒデキ
Publication Date
1985-1986
Publication Date (W3CDTF)
1985
Extent
Subject Heading
微細加工技術 ビサイカコウギジユツ
リソグラフイー リソグラフイー
X線リソグラフイー Xセンリソグラフイー
NDLC