シンクロトロン放射X線散慢散乱ラジオグラフイによるシリコン微小欠陥の検出

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Material Type: 図書
Title: シンクロトロン放射X線散慢散乱ラジオグラフイによるシリコン微小欠陥の検出
Title Transcription: シンクロトロンホウシャ Xセンサンマンサンランラジオグラフイニヨルシリコンビショウケッカンノケンシュツ
Author/Editor: 近浦, 吉則, 九州工業大学
Author Heading: 近浦, 吉則チカウラ, ヨシノリ
Publication Date: 1987-1988
Publication Date (W3CDTF): 1987
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目一般研究(C)
Subject Heading: X線散乱ラジオグラフイ Xセンサンランラジオグラフイ
シリコンシリコン
微小欠陥ビシヨウケツカン
X線トポグラフイ Xセントポグラフイ
薄いシリコンウスイシリコン
平面波トポグラフイヘイメンハトポグラフイ
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 62580041
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-S62580041
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007032722
http://id.ndl.go.jp/bib/000007032722
Bibliographic Record Category (NDL): 214