流動層粒子循環系を用いた多結晶シリコン製造プロセスの開発

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Material Type: 図書
Title: 流動層粒子循環系を用いた多結晶シリコン製造プロセスの開発
Title Transcription: リュウドウソウリュウシジュンカンケイオモチイタタケッショウシリコンセイゾウプロセスノカイハツ
Author/Editor: 阿尻, 雅文, 東北大学
Author Heading: 著者：阿尻, 雅文, 1957- アジリ, タダフミ, 1957- ( 00971013 )Authorities
Publication Date: 1988-1990
Publication Date (W3CDTF): 1988
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目奨励研究(B)
Subject Heading: CVD CVD
シリコンシリコン
モノシランモノシラン
流動層リユウドウソウ
反応速度ハンノウソクド
トリクロロシラントリクロロシラン
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 63850187
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-S63850187
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007036473
http://id.ndl.go.jp/bib/000007036473
Bibliographic Record Category (NDL): 214