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ケルビンプローブフオース顕微鏡を用いたデバイス内部の電位分布測定技術の研究

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ケルビンプローブフオース顕微鏡を用いたデバイス内部の電位分布測定技術の研究

Call No. (NDL)
Y151-H10450135
Bibliographic ID of National Diet Library
000007058799
Material type
図書
Author
水谷, 孝, 名古屋大学
Publisher
-
Publication date
1998-1999
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
ケルビンプローブフオース ケンビキョウ オ モチイタ デバイス ナイブ ノ デンイ ブンプ ソクテイ ギジュツ ノ ケンキュウ
Author/Editor
水谷, 孝, 名古屋大学
Author Heading
水谷, 孝 ミズタニ, タカシ
Publication Date
1998-1999
Publication Date (W3CDTF)
1998
Extent
Additional Title
研究種目 基盤研究(B)
Subject Heading
AFM酸化 AFMサンカ
KFM KFM
単電子トンネル タンデンシトンネル
サフアイア基板 サフアイアキバン
InAsドツト INASドツト