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半導体製造工程から排出される三フツ化窒素の化学的固定による無害化システムの確立

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半導体製造工程から排出される三フツ化窒素の化学的固定による無害化システムの確立

Call No. (NDL)
Y151-H11650788
Bibliographic ID of National Diet Library
000007067636
Material type
図書
Author
山本, 秀樹, 関西大学
Publisher
-
Publication date
1999-2000
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
ハンドウタイ セイゾウ コウテイ カラ ハイシュツ サレル サン フツカ チッソ ノ カガクテキ コテイ ニ ヨル ムガイカ システム ノ カクリツ
Author/Editor
山本, 秀樹, 関西大学
Author Heading
山本, 秀樹 ヤマモト, ヒデキ
Publication Date
1999-2000
Publication Date (W3CDTF)
1999
Extent
Additional Title
研究種目 基盤研究(C)
Subject Heading
特殊ガス トクシユガス
無害化 ムガイカ
半導体製造 ハンドウタイセイゾウ
三フツ化窒素 サンフツカチツソ
塩化カルシウム エンカカルシウム
化学反応 カガクハンノウ
フツ化カルシウム フツカカルシウム
温室効果 オンシツコウカ