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低温成長技術を用いたガラス基板上の大面積化合物半導体単結晶薄膜の作製

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低温成長技術を用いたガラス基板上の大面積化合物半導体単結晶薄膜の作製

Call No. (NDL)
Y151-H09555113
Bibliographic ID of National Diet Library
000007070537
Material type
図書
Author
大山, 昌憲, 東京工業高等専門学校
Publisher
-
Publication date
1997-1999
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
テイオン セイチョウ ギジュツ オ モチイタ ガラス キバン ジョウ ノ ダイ メンセキ カゴウブツ ハンドウタイタンケッショウ ハクマク ノ サクセイ
Author/Editor
大山, 昌憲, 東京工業高等専門学校
Author Heading
大山, 昌憲 オオヤマ, マサノリ
Publication Date
1997-1999
Publication Date (W3CDTF)
1997
Extent
Additional Title
研究種目 基盤研究(B)
Subject Heading
低温成長 テイオンセイチヨウ
化合物半導体薄膜 カゴウブツハンドウタイハクマク
ヘテロエピタキシー ヘテロエピタキシー
ドライプロセス ドライプロセス
イオンアシスト イオンアシスト
光学材料 コウガクザイリヨウ
電子ビーム蒸着 デンシビームジヨウチヤク
スパツタリング スパツタリング