イオンビーム誘起エピタキシヤル結晶化による絶縁物上シリコンエピタキシヤル成長

• Material Type: 図書
• Title: イオンビーム誘起エピタキシヤル結晶化による絶縁物上シリコンエピタキシヤル成長
• Title Transcription: イオンビーム ユウキ エピタキシヤル ケッショウカ ニ ヨル ゼツエン ブツジョウ シリコンエピタキシヤル セイチョウ
• Author/Editor: 山本, 康博, 法政大学
• Author Heading: 著者 ： 山本, 康博, 1948- ヤマモト, ヤスヒロ, 1948- ( 00189728 )Authorities
• Publication Date: 1998-2000
• Publication Date (W3CDTF): 1998
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(B)
• Subject Heading: ヘテロエピタキシ ヘテロエピタキシ; CeO2 CEO2; SiGe SIGE; SOI SOI; イオンビーム誘起結晶化 イオンビームユウキケツシヨウカ; アモルフアスシリコン アモルフアスシリコン; IBIEC IBIEC; 界面反応 カイメンハンノウ
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 10450012
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H10450012
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007071390; http://id.ndl.go.jp/bib/000007071390
• Bibliographic Record Category (NDL): 214