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MOCVD法による応力誘起強誘電体薄膜合成法の開発

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MOCVD法による応力誘起強誘電体薄膜合成法の開発

Call No. (NDL)
Y151-H11555165
Bibliographic ID of National Diet Library
000007073272
Material type
図書
Author
舟窪, 浩, 東京工業大学
Publisher
-
Publication date
1999-2000
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
MOCVD ホウ ニ ヨル オウリョク ユウキ キョウ ユウデンタイ ハクマク ゴウセイホウ ノ カイハツ
Author/Editor
舟窪, 浩, 東京工業大学
Author Heading
舟窪, 浩 フナクボ, ヒロシ
Publication Date
1999-2000
Publication Date (W3CDTF)
1999
Extent
Additional Title
研究種目 基盤研究(B)
Subject Heading
応力誘起強誘電性 オウリヨクユウキキヨウユウデンセイ
MOCVD MOCVD
Pb (Zr, Ti) O3 PB (ZR, TI) O3