超低誘電率シリカ膜の気相堆積

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Material Type: 図書
Title: 超低誘電率シリカ膜の気相堆積
Title Transcription: チョウテイユウデンリツシリカマクノキソウタイセキ
Author/Editor: 内田, 恭敬, 帝京科学大学
Author Heading: 内田, 恭敬ウチダ, ヤスタカ
Publication Date: 2000-2001
Publication Date (W3CDTF): 2000
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(C)
Subject Heading: low-k LOW-K
ポーラスシリカ膜ポーラスシリカマク
TICS TICS
TMA TMA
層間絶縁膜ソウカンゼツエンマク
空孔率クウコウリツ
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 12650022
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H12650022
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007076660
http://id.ndl.go.jp/bib/000007076660
Bibliographic Record Category (NDL): 214