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金属埋込み選択成長法によるGaN成長層の高品位化及び低転位化

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金属埋込み選択成長法によるGaN成長層の高品位化及び低転位化

Call No. (NDL)
Y151-H12650308
Bibliographic ID of National Diet Library
000007076858
Material type
図書
Author
福家, 俊郎, 静岡大学
Publisher
-
Publication date
2000-2001
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
キンゾク ウメコミ センタク セイチョウホウ ニ ヨル GaN セイチョウソウ ノ コウヒンイカ オヨビ テイテンイカ
Author/Editor
福家, 俊郎, 静岡大学
Author Heading
福家, 俊郎 フケ, シュンロウ
Publication Date
2000-2001
Publication Date (W3CDTF)
2000
Extent
Additional Title
研究種目 基盤研究(C)
Subject Heading
化合物半導体 カゴウブツハンドウタイ
窒化物 チツカブツ
選択成長 センタクセイチヨウ
有機金属気相成長法 ユウキキンゾクキソウセイチヨウホウ
転位密度 テンイミツド
高品位化 コウヒンイカ