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窒化物半導体の選択成長法による金属埋込みと結晶欠陷の低減

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窒化物半導体の選択成長法による金属埋込みと結晶欠陷の低減

Call No. (NDL)
Y151-H11450012
Bibliographic ID of National Diet Library
000007077639
Material type
図書
Author
平松, 和政, 三重大学
Publisher
-
Publication date
1999-2001
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
チッカブツ ハンドウタイ ノ センタク セイチョウホウ ニ ヨル キンゾク ウメコミ ト ケッショウ ケッカン ノ テイゲン
Author/Editor
平松, 和政, 三重大学
Author Heading
平松, 和政 ヒラマツ, カズマサ
Publication Date
1999-2001
Publication Date (W3CDTF)
1999
Extent
Additional Title
研究種目 基盤研究(B)
Subject Heading
窒化ガリウム チツカガリウム
窒化アルミニウム チツカアルミニウム
選択成長 センタクセイチヨウ
タングステン タングステン
窒化タングステン チツカタングステン
シヨツトキー電極 シヨツトキーデンキヨク
金属埋込み構造 キンゾクウメコミコウゾウ
橋脚構造 キヨウキヤクコウゾウ