高性能ビーム装置を用いる表面反応過程の研究

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Material Type: 図書
Title: 高性能ビーム装置を用いる表面反応過程の研究
Title Transcription: コウセイノウビームソウチオモチイルヒョウメンハンノウカテイノケンキュウ
Author/Editor: 菅井, 秀郎, 名古屋大学
Author Heading: 菅井, 秀郎スガイ, ヒデオ
Publication Date: 1998-2001
Publication Date (W3CDTF): 1998
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(A)
Subject Heading: プラズマプロセスプラズマプロセス
エツチングエツチング
CVD CVD
表面反応ヒヨウメンハンノウ
中性ラジカルチユウセイラジカル
イオンビームイオンビーム
シリコンシリコン
XPS XPS
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 10308016
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H10308016
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007080338
http://id.ndl.go.jp/bib/000007080338
Bibliographic Record Category (NDL): 214