先端半導体デバイスの高性能化

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Material Type: 図書
Title: 先端半導体デバイスの高性能化
Title Transcription: センタンハンドウタイデバイスノコウセイノウカ
Author/Editor: 大山, 英典, 熊本電波工業高等専門学校
Author Heading: 大山, 英典オオヤマ, ヒデノリ
Publication Date: 1999-2001
Publication Date (W3CDTF): 1999
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(B)
Subject Heading: 半導体デバイスハンドウタイデバイス
高エネルギー粒子コウエネルギーリユウシ
宇宙空間ウチユウクウカン
照射損傷シヨウシヤソンシヨウ
格子欠陥コウシケツカン
熱処理ネツシヨリ
劣化レツカ
回復カイフク
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 11695065
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H11695065
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007081547
http://id.ndl.go.jp/bib/000007081547
Bibliographic Record Category (NDL): 214