段階投資型半導体生産ラインを実現するプロセスガス解離完全制御プラズマプロセス技術

• Material Type: 図書
• Title: 段階投資型半導体生産ラインを実現するプロセスガス解離完全制御プラズマプロセス技術
• Title Transcription: ダンカイ トウシガタ ハンドウタイ セイサン ライン オ ジツゲン スル プロセスガス カイリ カンゼン セイギョ プラズマプロセス ギジュツ
• Author/Editor: 大見, 忠弘, 東北大学
• Author Heading: 大見, 忠弘 オオミ, タダヒロ
• Publication Date: 2000-2001
• Publication Date (W3CDTF): 2000
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(A)
• Subject Heading: LSI LSI; RLSA RLSA; シヤワープレート シヤワープレート; クラスターツール クラスターツール; 段階投資 ダンカイトウシ; 半導体生産 ハンドウタイセイサン; マイクロ波プラズマ マイクロハプラズマ; エツチング エツチング
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 12355014
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H12355014
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007081669; http://id.ndl.go.jp/bib/000007081669
• Bibliographic Record Category (NDL): 214