高耐熱性低誘電率層間絶縁膜に関する研究

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Material Type: 図書
Title: 高耐熱性低誘電率層間絶縁膜に関する研究
Title Transcription: コウタイネツセイテイユウデンリツソウカンゼツエンマクニカンスルケンキュウ
Author/Editor: 原, 徹, 法政大学
Author Heading: 原, 徹ハラ, トオル
Publication Date: 2000-2002
Publication Date (W3CDTF): 2000
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(C)
Subject Heading: 超LSI高速化チヨウLSIコウソクカ
多層配線層タソウハイセンソウ
低誘電率層間膜テイユウデンリツソウカンマク
耐熱性向上タイネツセイコウジヨウ
定着力向上テイチヤクリヨクコウジヨウ
界面反応カイメンハンノウ
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 12650323
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H12650323
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007086202
http://id.ndl.go.jp/bib/000007086202
Bibliographic Record Category (NDL): 214