先進LSI銅配線薄膜の端部剥離強度評価法の開発

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Material Type: 図書
Title: 先進LSI銅配線薄膜の端部剥離強度評価法の開発
Title Transcription: センシン LSI ドウハイセンハクマクノタンブハクリキョウドヒョウカホウノカイハツ
Author/Editor: 北村, 隆行, 京都大学
Author Heading: 北村, 隆行キタムラ, タカユキ
Publication Date: 2001-2002
Publication Date (W3CDTF): 2001
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(B)
Subject Heading: LSI配線 LSIハイセン
薄膜ハクマク
微小材料ビシヨウザイリヨウ
界面カイメン
端部タンブ
剥離ハクリ
強度キヨウド
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 13555026
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H13555026
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007088074
http://id.ndl.go.jp/bib/000007088074
Bibliographic Record Category (NDL): 214