博士論文

プラズマパルス堆積法によるダイヤモンド状炭素薄膜の作製と構造制御に関する研究

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プラズマパルス堆積法によるダイヤモンド状炭素薄膜の作製と構造制御に関する研究

Call No. (NDL)
UT51-2004-G351
Bibliographic ID of National Diet Library
000007472918
Material type
博士論文
Author
山田秀雄 [著]
Publisher
[山田秀雄]
Publication date
[2001]
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
1冊
Name of awarding university/degree
東京工業大学,博士 (工学)
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博士論文

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Paper

Material Type
博士論文
Title Transcription
プラズマ パルス タイセキホウ ニ ヨル ダイヤモンドジョウ タンソ ハクマク ノ サクセイ ト コウゾウ セイギョ ニ カンスル ケンキュウ
Author/Editor
山田秀雄 [著]
Author Heading
山田, 秀雄 ヤマダ, ヒデオ
Publication, Distribution, etc.
Publication Date
[2001]
Publication Date (W3CDTF)
2001
Extent
1冊
Degree grantor/type
東京工業大学