大陽日酸技報

• Material Type: 雑誌
• Title: 大陽日酸技報
• Title Transcription: タイヨウ ニッサン ギホウ
• Volume: (25) 2006
• Author Heading: 大陽日酸株式会社 タイヨウ ニッサン カブシキ ガイシャ ( 01207657 )Authorities
• Publication, Distribution, etc.: 東京 : 大陽日酸技術本部技報編集事務局
• Publication Date: 2006
• Publication Date (W3CDTF): 2006
• Year and volume of publication: No. 23 (2004)-no. 27 (2008)
• Size: 30cm
• Alternative Title: Taiyou Nippon Sanso technical report
• Key Title: Taiyo Nissan gihou
• ISSN (Periodical Title): 1349-693X
• ISSN-L (Periodical Title): 1349-693X
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: jpn; eng
• NDLC: ZP8
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Z17-1192
• Replaces: 継続前; https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000065123
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007517501; http://id.ndl.go.jp/bib/000007517501
• Cataloging Rule: Nippon Cataloguing Rules 1987 Revised Edition

Table of Contents

大型量産GaN用MOCVD装置の開発

塩素ガスを用いたGaN-MOCVD装置反応炉部品の洗浄装置(CLEANDEX-100)の開発

次世代SiOCH系低誘電率膜向けプリカーサーの開発--Si-C2H4-Siネットワークの導入

乾式除害装置のシミュレーション

省エネ型PSA式窒素ガス発生装置の制御系開発