In situ mass spectroscopic study of temperature effect on reactions of hydrogen and oxygen atoms with hydrogen-terminated silicon surfaces

• Material Type: 博士論文
• Title: In situ mass spectroscopic study of temperature effect on reactions of hydrogen and oxygen atoms with hydrogen-terminated silicon surfaces
• Author/Editor: F.H.M.Faridur Rahman [著]
• Author Heading: F.H.M.Faridur Rahman ファリドール ラハマン
• Publication, Distribution, etc.: [F.H.M.Faridur Rahman]
• Publication Date: 2004
• Publication Date (W3CDTF): 2004
• Extent: 1冊
• Alternative Title: その場質量分析法を用いた水素及び酸素原子と水素終端シリコン表面反応の温度効果に関する研究 ソノバ シツリョウ ブンセキホウ オ モチイタ スイソ オヨビ サンソ ゲンシ ト スイソ シュウタン シリコン ヒョウメン ハンノウ ノ オンド コウカ ニ カンスル ケンキュウ
• Degree grantor/type: 九州工業大学
• Date Granted: 平成16年3月25日
• Date Granted (W3CDTF): 2004
• Dissertation Number: 甲第210号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: eng
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-2004-M455
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007558391; http://id.ndl.go.jp/bib/000007558391
• Bibliographic Record Category (NDL): 213