サブ10ナノメータ級新構造Si MOSFET/SOIの研究

• Material Type: 図書
• Title: サブ10ナノメータ級新構造Si MOSFET/SOIの研究
• Title Transcription: サブ 10ナノメータキュウ シンコウゾウ Si MOSFET SOI ノ ケンキュウ
• Author/Editor: 酒井徹志, 東京工業大学 [著]
• Author Heading: 酒井, 徹志 サカイ, テツシ; 東京工業大学 トウキョウ コウギョウ ダイガク
• Publication, Distribution, etc.: [酒井徹志]
• Publication Date: 2001-2002; 2004.6
• Publication Date (W3CDTF): 2001; 2002
• Extent: 137枚
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(B)
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: jpn
• Subject Heading: サブ10ナノメータ / MOSFET/SOI / 短チャネル効果 / 駆動電流 / 高誘電率ゲート絶縁膜 / SiGe / ECRスパッタ サブ 10ナノ メータ / MOSFET/SOI / タンチャネル コウカ / クドウ デンリュウ / コウユウデンリツ ゲート ゼツエンマク / SiGe / ECR スパッタ
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 13450138
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H13450138
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007623438; http://id.ndl.go.jp/bib/000007623438
• Bibliographic Record Category (NDL): 214