サブ10ナノメータ級新構造Si MOSFET/SOIの研究

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Material Type: 図書
Title: サブ10ナノメータ級新構造Si MOSFET/SOIの研究
Title Transcription: サブ 10ナノメータキュウシンコウゾウ Si MOSFET SOI ノケンキュウ
Author/Editor: 酒井徹志, 東京工業大学 [著]
Author Heading: 酒井, 徹志サカイ, テツシ
東京工業大学トウキョウコウギョウダイガク
Publication, Distribution, etc.: [酒井徹志]
Publication Date: 2001-2002
2004.6
Publication Date (W3CDTF): 2001
2002
Extent: 137枚
Additional Title: 研究種目基盤研究(B)
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
Subject Heading: サブ10ナノメータ / MOSFET/SOI / 短チャネル効果 / 駆動電流 / 高誘電率ゲート絶縁膜 / SiGe / ECRスパッタサブ 10ナノメータ / MOSFET/SOI / タンチャネルコウカ / クドウデンリュウ / コウユウデンリツゲートゼツエンマク / SiGe / ECR スパッタ
NDLC: Y151
Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 13450138
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H13450138
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007623438
http://id.ndl.go.jp/bib/000007623438
Bibliographic Record Category (NDL): 214