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低加速FIBによる化合物半導体のマスクレス極微領域選択エピタキシーに関する研究

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低加速FIBによる化合物半導体のマスクレス極微領域選択エピタキシーに関する研究

Call No. (NDL)
Y151-H14550298
Bibliographic ID of National Diet Library
000007684334
Material type
図書
Author
朴康司, 豊橋技術科学大学 [著]
Publisher
[朴康司]
Publication date
2002-2003
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
40枚
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
テイカソク FIB ニ ヨル カゴウブツ ハンドウタイ ノ マスクレス キョクビ リョウイキ センタク エピタキシー ニ カンスル ケンキュウ
Author/Editor
朴康司, 豊橋技術科学大学 [著]
Author Heading
朴, 康司 パク, カンサ
豊橋技術科学大学 トヨハシ ギジュツ カガク ダイガク
Publication, Distribution, etc.
Publication Date
2002-2003
2004.10
Publication Date (W3CDTF)
2002
2003
Extent
40枚
Additional Title
研究種目 基盤研究(C)