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博士論文

P[+]イオン打込みシリコン中の格子欠陥の消滅過程とその電気的性質と関連

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P[+]イオン打込みシリコン中の格子欠陥の消滅過程とその電気的性質と関連

Call No. (NDL)
UT51-52-O265
Bibliographic ID of National Diet Library
000007775358
Material type
博士論文
Author
長谷川誠一 [著]
Publisher
-
Publication date
-
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
Name of awarding university/degree
東京工業大学,工学博士
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Note (General):

博士論文

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Paper

Material Type
博士論文
Title Transcription
P+ イオン ウチコミ シリコンチュウ ノ コウシ ケッカン ノ ショウメツ カテイ ト ソノ デンキテキ セイシツ ト カンレン
Author/Editor
長谷川誠一 [著]
Author Heading
長谷川, 誠一 ハセガワ, セイイチ
Extent
Degree grantor/type
東京工業大学
Date Granted
昭和51年7月31日
Date Granted (W3CDTF)
1976
Dissertation Number
乙第688号