極短紫外線縮小リソグラフィーのための斜め入射光による反射型マスクパターン転写特性に関する研究

• Material Type: 博士論文
• Title: 極短紫外線縮小リソグラフィーのための斜め入射光による反射型マスクパターン転写特性に関する研究
• Title Transcription: キョクタン シガイセン シュクショウ リソグラフィー ノ タメノ ナナメ ニュウシャコウ ニ ヨル ハンシャガタ マスク パターン テンシャ トクセイ ニ カンスル ケンキュウ
• Author/Editor: 菅原稔 [著]
• Author Heading: 菅原, 稔 スガワラ, ミノル
• Publication, Distribution, etc.: [菅原稔]
• Publication Date: 2005
• Publication Date (W3CDTF): 2005
• Extent: 1冊
• Degree grantor/type: 大阪大学
• Date Granted: 平成17年3月25日
• Date Granted (W3CDTF): 2005
• Dissertation Number: 甲第10573号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: jpn
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-2005-C464
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007782996; http://id.ndl.go.jp/bib/000007782996
• Bibliographic Record Category (NDL): 213