強誘電体/絶縁膜/半導体ゲート構造における強誘電体層、絶縁層界面特性の改善

Call No. (NDL): Y151-H12450147
Bibliographic ID of National Diet Library: 000007900044

Material type: 図書

Author: 野田実, 大阪大学 [著]

Publisher: [野田実]

Publication date: 2000-2002

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 139p

NDC: -

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Note (General)：: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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Material Type: 図書
Title: 強誘電体/絶縁膜/半導体ゲート構造における強誘電体層、絶縁層界面特性の改善
Title Transcription: キョウユウデンタイゼツエンマクハンドウタイゲートコウゾウニオケルキョウユウデンタイソウゼツエンソウカイメントクセイノカイゼン
Author/Editor: 野田実, 大阪大学 [著]
Author Heading: 野田, 実ノダ, ミノル
大阪大学オオサカダイガク
Publication, Distribution, etc.: [野田実]
Publication Date: 2000-2002
2003.9
Publication Date (W3CDTF): 2000
2002
Extent: 139p
Additional Title: 研究種目基盤研究(B)
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
eng
Subject Heading: 強誘電体 / MFIS構造 / 不揮発性メモリ / SrBi_2Ta_2O_9 (SBT) / Sr_2 (Ta_<1-x>, Nb_x) _2O_7 (STN) / 保持特性 / 界面特性 / イオン化ポテンシャルキョウユウデンタイ / MFIS コウゾウ / フキハツセイメモリ / SrBi_2Ta_2O_9 (SBT) / Sr_2 (Ta_<1-x>, Nb_x) _2O_7 (STN) / ホジトクセイ / カイメントクセイ / イオンカポテンシャル
NDLC: Y151
Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 12450147
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H12450147
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007900044
http://id.ndl.go.jp/bib/000007900044
Bibliographic Record Category (NDL): 214