膜堆積に強い電子密度の新測定法と超精密プラズマ制御への応用

• Material Type: 図書
• Title: 膜堆積に強い電子密度の新測定法と超精密プラズマ制御への応用
• Title Transcription: マク タイセキ ニ ツヨイ デンシ ミツド ノ シンソクテイホウ ト チョウセイミツ プラズマ セイギョ エノ オウヨウ
• Author/Editor: 中村圭二, 中部大学 [著]
• Author Heading: 中村, 圭二 ナカムラ, ケイジ; 中部大学 チュウブ ダイガク
• Publication, Distribution, etc.: [中村圭二]
• Publication Date: 1999-2001; 2002.3
• Publication Date (W3CDTF): 1999; 2001
• Extent: 54p
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(B)
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: jpn; eng
• Subject Heading: プラズマプロセス / 電子密度 / 堆積膜 / プラズマ吸収プローブ / 分散関係 / 表面波 / シース プラズマプロセス / デンシ ミツド / タイセキマク / プラズマ キュウシュウ プローブ / ブンサン カンケイ / ヒョウメンハ / シース
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 11558052
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H11558052
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007921567; http://id.ndl.go.jp/bib/000007921567
• Bibliographic Record Category (NDL): 214