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機器導体部のプラズマCVD絶縁膜(CxFy高分子)によるSF6ガス代替絶縁

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機器導体部のプラズマCVD絶縁膜(CxFy高分子)によるSF6ガス代替絶縁

Call No. (NDL)
Y151-H15360143
Bibliographic ID of National Diet Library
000007958164
Material type
図書
Author
酒井洋輔, 北海道大学 [著]
Publisher
[酒井洋輔]
Publication date
2003-2004
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
1冊
NDC
-
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Note (General)：

文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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Paper

Material Type
図書
Title
機器導体部のプラズマCVD絶縁膜(CxFy高分子)によるSF6ガス代替絶縁
Title Transcription
キキ ドウタイブ ノ プラズマ CVD ゼツエンマク CxFy コウブンシ ニ ヨル SF6 ガス ダイタイ ゼツエン
Author/Editor
酒井洋輔, 北海道大学 [著]
Author Heading
著者 ： 酒井, 洋輔, 1944- サカイ, ヨウスケ, 1944- ( 01240935 )Authorities
北海道大学 ホッカイドウ ダイガク ( 00260056 )Authorities
Publication, Distribution, etc.
[酒井洋輔]
Publication Date
2003-2004
2005.3
Publication Date (W3CDTF)
2003
2004
Extent
1冊
Additional Title
研究種目 基盤研究(B)